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上海梭倫水滴角測試儀助力芯片半導(dǎo)體行業(yè)接觸角測量

點(diǎn)擊次數(shù):1469    發(fā)布時(shí)間:2022-09-26 00:00:00

作為美國科諾中國區(qū)戰(zhàn)略投資公司,上海梭倫在水滴角測試儀的研制以及技術(shù)方面處于地位。這種地位并非自封,而是基于水滴角測量儀器基本原理以及芯片半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于水滴角測試儀的特殊要求而來的。

從基礎(chǔ)原理來講,水滴角測試儀通常是指采用蒸餾水或超純水作為探針液體,并采用視頻光學(xué)方法并通過界面化學(xué)的基本分析原理,測試相應(yīng)的固體材料表面的物理化學(xué)性質(zhì)的分析儀器,屬于界面化學(xué)分析儀器的關(guān)鍵儀器之一。目前,世界主要水滴角測試儀器廠商包括了德國、芬蘭、美國、日本、韓國以及中國的水滴角測量儀。但是,絕大多數(shù)的水滴角測量儀器均是基于非常落后的圓、橢圓、切線法的分析技術(shù)而非界面化學(xué)的分析技術(shù),比如中國的儀器廠商(除上海梭倫外)、日本和韓國的儀器廠商,德國和芬蘭的儀器廠商以及美國的儀器廠商采用了Young-Laplace方程的分析技術(shù),符合界面化學(xué)的基礎(chǔ)分析要求。但是,這種符合的程度也不是很好,主要是由于固體材料的水滴角測試的特殊要求,對(duì)于水滴角測試儀器的的要求非常高,特別是對(duì)于半導(dǎo)體芯片行業(yè)的要求尤其高。如下圖所示,在頂視條件下的晶圓表面的水滴情況如下:

水滴角測試儀

通過如上圖片可以看出,

1、水滴接觸到的位置事實(shí)上并非均勻。有的地方有刻蝕位,有的沒有。

2、水滴接觸到的不同位置邊緣出現(xiàn)了明顯的曲線變化,如下圖所示:

水滴角測試儀

3、水滴頂視(正視)時(shí)的形狀并非是正圓形。

因而,對(duì)于芯片、半導(dǎo)體或PCB板行業(yè)而言,水滴角測試儀除了要求必須是采用基本的Young-Laplace方程擬合技術(shù)而不是普通的量角器法的圓、橢圓或切線法之外,更為關(guān)鍵的技術(shù)點(diǎn)在于水滴角測量儀必須是能夠、、靈敏的分析出在側(cè)視條件下左、右角度的變化,同時(shí)要求樣品臺(tái)是可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),即可以測試3D條件下的水滴角測值結(jié)果。

這是水滴角測試儀器應(yīng)用于芯片行業(yè)的要求,而液晶屏或手機(jī)膜行業(yè)通常測試固體表面是玻璃,會(huì)不會(huì)存在同樣問題?

水滴角測試儀

通過如上圖片可以看出,事實(shí)上手機(jī)屏也同樣存在著左、右角度不一致或正視條件下不能形成正圓的情況。而手機(jī)行業(yè)的手機(jī)屏或手機(jī)膜、液晶屏、OLED的設(shè)計(jì)要求是:盡量形成左、右角度值更接近的固體表面,這一方面說明材料本身膜的鍍膜均勻度較好、材料更均勻,同時(shí)也說明固體表面的清潔度更高。從這個(gè)方面來講,左、右水接觸角值對(duì)于液晶屏和手機(jī)膜的應(yīng)用的價(jià)值更大。而這些更要求水滴角測試儀必須符合:

1、水滴角測試儀必須采用Young-Laplace方程擬合技術(shù),解決重力對(duì)測值的影響,讓測值結(jié)果更符合界面化學(xué)原理,測試數(shù)據(jù)更為可信。

2、在水滴角測試儀采用Young-Laplace方程擬合技術(shù)的基礎(chǔ)上,必須要求能夠的分析出左、右角度值的變化以及3D接觸角測值結(jié)果。這就要求水滴角測試儀必須采用阿莎算法(ADSA-RealDrop算法)。

目前,僅上海梭倫提供阿莎算法并擁有國家發(fā)明技術(shù)。作為中國的民營企業(yè),在美國科諾的戰(zhàn)略投資下,上海梭倫已經(jīng)成長為行業(yè)技術(shù)者。我們也愿為中國芯片行業(yè)、OLED行業(yè)的高精度測量水滴角值提供我們的力量。目前京東方、華為、瑞聲科技、環(huán)旭電子、士蘭微等公司已經(jīng)批量采購上海梭倫的水滴角測試儀,在此,對(duì)于合作伙伴的支持,我們表示誠摯的謝意。我們也將繼續(xù)努力,不斷提供更符合用戶需求的水滴角測試儀。

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